Переход вакуумной системы из атмосферного состояния в технологический режим и обратно сопряжен с прохождением широкого диапазона давления. В полупроводниковом производстве такие задачи возникают в шлюзовых камерах, где критически важны скорость откачки, стабильность условий переноса и безопасное выравнивание давления перед открытием дверей.
Традиционный подход часто подразумевает использование нескольких различных измерителей, что усложняет интеграцию оборудования. Альтернативой выступают комбинированные приборы, объединяющие в едином корпусе пьезорезистивные сенсоры и датчики Пирани. Подобная архитектура позволяет перекрывать абсолютный диапазон в несколько порядков величины с высокой скоростью отклика.
Особое внимание разработчики уделяют бесшовным переходам между режимами измерения. Поскольку пьезорезистивные элементы не зависят от типа газа, а термопарные или тепловые сенсоры чувствительны к составу среды, настройка точек слияния сигналов позволяет сохранять точность показаний. Кроме того, расчет дифференциального давления для контроля выравнивания с внешней средой исключает необходимость монтажа дополнительных уплотненных датчиков, упрощая общую компоновку технологической установки.